联系我们

+86 400-6136683

+86 13923650732

+86 752 2089356/5310980

QQ:2880301631

E-mail:partner@voir-tech.com.cn

地址:广东省惠州市惠城区三栋数码园海宝路

关注沃瑞

制造基地:广东省惠州市惠城区三栋数码园海宝路

上海办事处:上海市嘉定区环城路2222号嘉乐园商务大厦1503室

深圳研发中心:深圳市龙岗区天安数码城1号楼A1001

 
在线客服
客服热线
400-6136683
客服组:
在线客服
服务时间:
8:00 - 22:00

凭借10年专注于ePTFE研究和防护经验,沃瑞充分利用自主关键核心材料ePTFE的低摩擦系数,不粘尘,化学惰性等特性设计出抗静电、低集尘及高柔的创新解决方案和Voir®CABLE-Pod™沃瑞抗静电无拖链电缆。

解决方案

 

Voir®臭氧化模组

硅片生产/逻辑电路/存储器制造  
 
       传统的化学品清洁工艺采用硫酸化合物对硅片、晶圆等进行清洗,不但成本高、操作危险,还存在环境污染这一“天生劣势”。在环保、可持续发展的趋势下,化学品清洁工艺面临“退出历史舞台”的窘境,取而代之的便是更环保和节约成本的臭氧水方案。

       Voir®臭氧化模组能过滤去除臭氧气体中的颗粒,其独特的含氟聚合物结构,可生成更高洁净度的臭氧水,确保在硅片和平板显示器的清洁过程不会被有机杂质污染。