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6月29-7月1日 沃瑞半导体材料事业部参展半导体重庆博览会S1馆A172
沃瑞半导体事业部将参展第四届全球半导体产业(重庆)博览会,携带多款创新方案产品,期待与您共拓半导体行业新道路。
光刻机在运作时,会被电缆材料的微尘、静电积聚所污染,对元件造成损坏。Voir®高柔扁平电缆具有超低释气率特性,可防止在超真空环境下电缆释气体污染芯片。自主研发的Voir®高柔扁平电缆打破国外少数厂商控制和垄断,是光刻机理想的清洁电缆方案。
Voir®高柔扁平电缆在真空环境下,保持无微尘,无污染,超低释气,使光刻机在运作时,处在一个真空环境下工作,不受任何气体及微小尘埃影响, 提高镜头在工作中对芯片制作精密度,经验证具有长期可靠性和耐久性。
一、Voir®电缆及电缆组件
沃瑞基于高分子ePTFE核心材料研发出电缆及电缆组件,已应用于光刻机、晶圆制造、半导体制造,显示面板等领域,ePTFE材料的高柔抗静电低集尘线缆方案已开始应用于国内顶级知名半导体芯片制造企业。
二、Voir®过滤膜及过滤组件
Voir®过滤组件采用ePTFE过滤膜为过滤介质,具有优越截留率和无与伦比的流量;梯度孔径结构设计,分级过滤,使得过滤组件具有更高的纳污量和更长的寿命。适用于对性能、质量、和产品清洁度要求苛刻,并可重复性的制造过程应用。
三、Voir®密封材料技术
Voir®密封材料技术分为全氟密封材料和e-PTFE密封材料,具有耐温性和较高机械强度,纯净度高、析出少、优异的化学稳定性等特点,完全满足芯片制程工艺特殊应用环境,解决严苛的密封需求。为各种严苛的应用环境提供了可靠的密封方案,可用于半导体制造、电力和航海等各行各业。
沃瑞工程师:“Voir®高柔扁平电缆是基于核心材料e-PTFE高分子膨化聚四氟乙烯,采用创新材料工艺技术,以客户需求为基础,进行方案创新,实现了率先突破。此外,我们还提供抗静电高柔无尘拖链等多款创新方案产品,欢迎到访参观交流。”
关于重庆博览会
第四届全球半导体产业(重庆)博览会以客户需求为导向,聚焦半导体产业热点难点,涵盖半导体产业集成电路设计、制造、封装测试、半导体材料、设备等,推动半导体产业高质量创新发展。
沃瑞半导体材料部件事业部(SCU)
专注半导体领域基于氟聚合物材料及线缆组件传输方案产品,助力制造/封装/封测设备厂商提供可靠的信号传输,为光刻过滤提供PTFE滤膜及全氟滤芯组件以及氟密封方案。已为多家半导体厂商提供方案产品包括亚洲领先的半导体设备厂商。